表面潔凈度測試儀
 

　　一、 儀器介紹
 

　　概述：
 

　　表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗(yàn)證部件表面是否干凈的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會(huì)快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
 

　　執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
 

　　ISO14644-9:2022 《潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評(píng)估》
 

　　二、 儀器參數(shù)
 

　　技術(shù)參數(shù)：
 

　　控制系統(tǒng)：PLC
 

　　操作界面：7寸觸摸屏
 

　　流量:28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器，流量自動(dòng)閉環(huán)控制
 

　　光源: 進(jìn)口激光二極管
 

　　測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um(可根據(jù)客戶需求定制，最多八個(gè)通道)
 

　　最大飽和濃度:2000000/ft3(5%)
 

　　自凈時(shí)間:≤10min
 

　　測量次數(shù):0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時(shí)時(shí)間:0-9999秒
 

　　潔凈度等級(jí):1~9級(jí)
 

　　采樣頭規(guī)格:φ36.5
 

　　數(shù)據(jù)單位:m3、ft3
 

　　SCP等級(jí):1級(jí)-8級(jí)
 

　　表面類型:圓形、方形
 

　　表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
 

　　數(shù)據(jù)單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
 

　　根據(jù)探頭的形狀(如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸)，自動(dòng)計(jì)算出表面積。
 

　　打印功能:熱敏打印機(jī)
 

　　數(shù)據(jù)儲(chǔ)存:可儲(chǔ)存100000組數(shù)據(jù)
 

　　重量:15kg
 

　　外形尺寸:300*400*450mm
 

　　電源：AC220V 50Hz  150W (可選帶鋰電池組)
 

　　基本配置
 

　　主機(jī)   一臺(tái)
 

　　說明書 1份
 

　　合格證1份
 

　　簽收單1份
 

　　電源線1份
 

　　扳手1套
 

　　保修卡 一個(gè)
 

　　銘牌   一個(gè)